溅射镀膜原理及其应用.ppt

Hightargetutilizationsputtering(HiTUS)technology

Sputteringisgenerallythepreferredoptionforcoatingtechnologies.Bothconventional

magnetronandionbeamsputteringhavelimitationsregardingthedepositionratecontrol.

Magnetronsputteringinparticularisalsoinefficientintermsoftargetutilizationanddoesnotallow

sputteringfromthickferromagnetictargets.Thesputteringtechnologydescribedinthispaper

providescontrolofgrainsize,highuniformtargetutilization(90%)andtheabilitytosputter

ferromagneticmaterialsefficientlywithclosecontrolofdepositionrates[12](seealso

www.plasmaquest.co.uk).Thesystemisbasedonaremotelygeneratedhighintensityplasmaas

showninFig.1andconsistsofasidearmlaunchtubeasaplasmasourcelinkedtothemain

depositionchamber.TheplasmaisgeneratedinthesidearmbyanRFelectricfield(max.2.5kW).

EnergyistransferredtotheplasmabyelectronsviathemechanismofLandaudamping.Theplasma

isthenlaunchedintothechamberviatheinteractionoftheRFfieldwiththelaunchelectromagnet

andthensteeredontothetargetbyasecondelectromagnet.磁控溅射常见问题阳极消失“打火”“靶中毒”内应力靶材成分偏离砂孔溅射镀膜一般有以下几步：放置膜料及装入产品抽真空：包括粗抽和精抽，一般真空度达到6.0-3以上；辉光清洗：通入惰性气体（一般为Ar),真空度1Pa左右，打开辉光清洗电源，清洗偏压及时间由素材表面状况及附着力要求决定。镀膜破真空，取产品：镀膜完成后，（待工艺要求，有时候会充入氩气冷却）对真空室充入大气，待达到大气压，打开真空室门取出产品。溅射镀膜的步骤单击此处可添加副标题磁控溅射在PVD行业是应用及研究最广泛的，在装饰、工模具镀膜、太阳能、幕墙玻璃、半导体、显示屏等许多行业都有广泛的应用。在此对以上某几个方面的应用做简单介绍。装饰镀装饰镀材料（基材）金属：SUS、钢基合金、锌基合金等；玻璃、陶瓷；塑料：ABS、PVC、PC、尼龙等；柔性材料：布，泡沫塑料、钢带等。装饰膜种类金属基材装饰镀膜层：TiN、ZrN、TiC、CrNx、TiCN、CrCN、TiOx等玻璃、陶瓷装饰镀膜层：Au、Cr、TiN、ZrN等塑料基材装饰镀膜层：Al、Cu、SUS、ITO、TiO2等柔性材料装饰镀膜层：Al、ITO、TiO2等磁控溅射工业应用磁控溅射工业应用1.3部分金属基材装饰膜颜色金属基材装饰膜的种类及色调很多，下表列举了部分金属基材装饰膜的种类及颜色。膜层种类色调TiNx浅黄、金黄、棕黄、黑色TiC浅灰色、深灰色、黑色TiCxNy赤金黄色、玫瑰金色、棕色、紫色TiN+Au金色ZrN金黄色ZrCxNy金色、银色TiO2紫青蓝、绿、黄、橙红色CrNx银白色TixAlNx金黄色、棕色、黑色TiZrAlNx金黄色磁控溅射镀膜及其应用曹达华