IC互连碳纳米管关键技术研究——高密度催化剂及定向碳纳米管的制备与表征的开题报告.pdf

IC互连碳纳米管关键技术研究——高密度催化剂及

定向碳纳米管的制备与表征的开题报告

一、研究背景

随着纳米科技的发展，纳米材料在电子、光电、生物医学等领域

用越来越广泛，而碳纳米管作为一种具有优异物理化学性质的纳米材料，

在这些领域也有着重要的应用前景。目前，碳纳米管的制备技术已经逐

步成熟，但在实际应用中，碳纳米管互连技术还存在许多挑战，如缺乏

高密度的催化剂和定向碳纳米管的制备和表征技术等。

二、研究内容

本次研究将重点研究IC互连碳纳米管关键技术，主要包括高密度催

化剂的制备、定向碳纳米管的制备以及其表征三个方面。

1.高密度催化剂的制备

本次研究将针对目前碳纳米管互连技术中存在的高密度催化剂不足

问题进行研究。通过改进催化剂配方和制备工艺，实现高密度催化剂的

制备，并对其进行表征和测试，以确定最优的催化剂类型和制备工艺。

2.定向碳纳米管的制备

本次研究将重点研究定向碳纳米管的制备技术，采用电化学方法和

化学气相沉积法等多种方法对碳纳米管进行制备和表征，以确定最优的

定向制备方法和参数。

3.定向碳纳米管的表征

本次研究将利用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、原

子力显微镜(AFM)等先进的表征手段对定向碳纳米管进行表征，了解其结

构、形态和材料性质等基本特征，为后续的应用研究提供重要的基础数

据。

三、研究意义

本次研究将探索IC互连碳纳米管关键技术，并开发高密度催化剂和

定向碳纳米管制备技术，为碳纳米管和纳米电子学领域的应用提供重要

的技术支撑。此外，本次研究还将为纳米材料的制备和应用研究提供重

要的基础数据和实验方法，促进纳米科技的快速发展。