半导体制造工艺创新项目实施方案（仅供参考）.docx
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半导体制造工艺创新项目
实施方案
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目录TOC\o1-4\z\u
第一章项目基本情况 8
一、项目概况 8
二、建设方案 8
三、项目目标 9
四、研究范围 10
五、总结 11
第二章土建工程方案 17
一、建筑总体规划 17
二、厂房结构设计 18
三、总图布置 19
四、厂房方案 21
五、生产车间建设思路 22
六、生产车间布局 24
七、生产车间设施配置 25
八、生产车间建筑材料选择 27
九、办公楼方案 29
十、建筑工程
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