PCMintroduction工艺操纵监测器介绍.ppt

PCM introduction; PCM --process control monitor（工艺控制监测器）一解是process control monitor , 一解是parameter control monitor。 PCM参数给定的是该工艺要实现的一些重要的参数，包括各方块电阻/电容/孔接触电阻/导线电阻/管子的开启电压等重要参数等。; 不仅仅是电阻，所有用到的器件包括有源和无源器件的参数都要给出具体数值。 方块电阻，电容阻值，晶体管的基本参数都给出。在流片结束后测试专门放在划片槽中的PCM图形，作为“交货的质量凭证”。; PCM是Foundry监控工艺的，当器件的测量值都在指定的范围内，Foundry就会说我们的工艺没问题，如果产品性能差就是设计的问题了。;Contents;What’s PCM;1. 对产品进行参数质量检验； 2. 通过PCM测试，获取流水线上异常信息； 3. ?为流水线上的工艺实验提取参数信息； 4. 进行客户反馈产品失效原因分析； 5. 数据统计分析工作； ;PCM主要设备;HP4062 半导体参数测试仪;HP4062 硬件系统结构;GBIB总线方式的虚拟仪器;HP4155 半导体参数测试仪;HP4155 半导体参数测试仪;HP4155 原理;PCM 测试模块;主要参数介绍; RES1 （条电阻测试） ; PPLUS （P+RES，Rc） ;A brief process flow;Related monitor items 相关的监视器项目;主要参数介绍;阈值（开启）电压的测试;MOS管结构图;NMOS VT;影响开启电压异常的因数;击穿电压的测试;击穿电压测试曲线;影响击穿电压异常的因数;导通电流的测试;导通电流测试曲线;影响导通电流异常的因数;NMOS Isub;影响单管漏电流异常的因数;方块电阻测试; 2、 基本测试方法 1）条电阻测试方法 条电阻测试是采用加电压测电流的方法，测得的电阻在除以相应的方块数，就得到所要测的方块电阻。名称举例：NW 100/20 RES。 2）VDP (Van Der Pauw) 方法测试电阻一般采用加电流测试电压的方法来测试方块 电阻。名称举例：NWELL SHEET RES。;方块电阻测试结构图;接触电阻测试;接触电阻测试电路;影响接触电阻异常的因数;电容测试;影响电容击穿因数;2, C-V Measure capacitance under a bias condition. (usually to monitor GOX, PIP, Dielectric thickness);Diode;Leakage/Step coverage monitor;END