基于玻尔兹曼方程的高压直流辉光放电等离子体模拟.docx
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基于玻尔兹曼方程的高压直流辉光放电等离子体模拟
摘要
随着社会的不断发展，高压直流辉光放电等离子体的应用已遍及各个工业领域，非常高的气体的温度以及较快的气体分子离散解体的激发的效率是高压直流辉光放电产生的等离子体的两个特点，所以在功能性薄膜的制备上有着极其重要的应用，并且在大面积快速制备技术上高压直流辉光放电等离子体技术也起到了影响颇深的指导作用。近些年来，由于各种放电技术得到了良好的发展，人们对放电认识的不断深入，由此也推动了高压直流辉光放电的研究与发展，使直流辉光放电这种放电形式也得到了新的生机。本文主要分析了高压直流辉光放电的物理过程，研究了放电过程的基本特征，
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