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《组元配比对(ZrTiAl)N膜微结构和力学性能的影响研究》.docx

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《组元配比对(ZrTiAl)N膜微结构和力学性能的影响研究》

一、引言

随着现代科技的发展，薄膜材料在众多领域中得到了广泛的应用。其中，(ZrTiAl)N膜因其独特的物理和化学性质，在机械、电子、生物医学等领域有着重要的应用。薄膜的微结构和力学性能是其应用性能的关键因素，而组元配比是影响薄膜微结构和力学性能的重要因素之一。因此，本文将针对组元配比对(ZrTiAl)N膜微结构和力学性能的影响进行研究。

二、研究方法

本研究采用磁控溅射法制备(ZrTiAl)N膜，并通过改变Zr、Ti、Al的组元配比，制备出不同成分的(ZrTiAl)N膜。利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、纳米压痕仪

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