CMOS器件光学特性测量.pdf

第 26 卷 　第 12 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol . 26 　No . 12 2005 年 12 月 C H IN ESE J OU RNAL O F SEM ICONDU C TOR S Dec . ,2005 CMOS 器件光学特性的测量 1 2 1 1 3 宋 　敏 　郑亚茹 　卢永军 　曲艳玲 　宋利民 ( 1 大连民族学院光电子技术研究所 , 大连 　116600) (2 辽宁师范大学物理系 , 大连 　116029) (3 大连海事大学信息工程学院 , 大连 　116023) ( ) 摘要 : 介绍了一种测量 CMO S 像感器调制传递函数 mo dulation t ran sfer function ,M TF 的方法 ,分别构造了可用 于 M TF 和光谱量子效率测量的实验系统. 并利用上述实验系统对 1024 ×1024 的 CMO S 像感器的 M TF 和量子效 率进行了测量 ,获得了令人满意的结果. 关键词 : CMO S ; 调制传递函数 ; 量子效率 PACC : 0760D ; 0765 G ; 4270 G 中图分类号 : TN 3865 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 02534 177 (2005) 子探测的器件已经从 CCD 转向 CMO S 像感器. 1 　引言 近年来 ,对 CCD 光学特性研究以及特性参数的 测量方法研究已经开展 了大量 的工作[ 6～10 ] , 但对 ( 由于 电荷 耦合器 件 char gecoup led device , CMO S 器件在该方面的研究却略显不足. 本文 以 CCD) 可以在较大面积上非常有效 、均匀地收集和转 1024 ×1024 CMO S 器件为例 ,对 CMO S 器件的光 移所产生的电荷并低噪声地测量. 因此 ,在过去 20 学特性如调制传递函数 、量子效率等参数进行了测 年 CCD 技术一直是可见光子探测和图像捕获的主 量. 要技术 ,许多微光学系统都离不开 CCD ,其主要用 于 200 ～1100nm 波长范围内的精确采集一维和二 2 　调制传递函数的测量 维光分布[ 1 ] . 但是最近 10 年 , 随着可以用工业标准 制造的 CMO S 像感器件的出现 ,光学测量技术的新 ( 长期以来 ,调制传递函数 mo dulation t ran sfer 纪元已经到来. 由于 CMO S 像感器具有诸如像元内 ) ( ) f unction ,M TF 一直是评价探测 或成像 系统质量 放大 、列并行结构以及深亚微米 CMO S 处理等独特