先进制造技术LIGA.ppt

LIGA技术讲诉.ppt DEM技术 DEM 技术是由上海交通大学和北京大学开发出的具有自主知识产权的准LIGA 技术.DEM是该技术三个主要工艺的英文缩写(DEM：deep-etching，electro-forming，micoreplication）。该技术用感应耦合等离子体（ICP:inductively coupled plasma）深层刻蚀工艺来代替同步辐射X光深层光刻，然后进行后续的微电铸和微复制工艺。该技术不需昂贵的同步辐射X光源和特制的X光掩模版。工艺过程主要为首先在氧化过的低阻硅片上溅射一层金属膜,利用紫外光刻和刻蚀工艺获得掩模,然后利用ICP 刻蚀机对硅进行深层刻蚀, 再通过氧化和反应离子刻

2017-01-10 约4.43千字 33页立即下载

LIGA技术知识.ppt LIGA技术 机械工程学院指导老师：222（教授）学生：111 时间：2012/4/6 目录 LIGA技术简介 LIGA技术的工艺流程 X射线光源 LIGA掩膜抗蚀光刻胶影响LIGA图形精度的因素准LIGA技术 LIGA技术简介 LIGA技术的特点与应用 LIGA是深结构曝光和电铸的代名词。LIGA是德文Lithographie(LI)、Galanoformung(G

2018-04-14 约3.2千字 33页立即下载

LIGA技术知识简介.ppt 梁美彦 MEMS工艺- LIGA技术及其应用典型MEMS器件——硅微马达器内容提要 LIGA一词来源于德语Lithographie, Galvanoformung 和Abformung 三个词语的缩写, 表示深层光刻、电铸、注塑三种技术的有机结合。 20世纪60年代初, 德国的Karlsruhe原子能研究中心致力于开发一项技术, 即用气体弯曲喷射的离心力方法处理六氟化铀和轻的辅助气体, 从而分离出铀同位素。为了提高这个方法的效率, 需要将分离喷嘴的相关结构尺寸缩小到几个微米的尺度, 这促使了LIGA技术的开发研究。研究背景：一、

2018-04-10 约2.15千字 31页立即下载

LIGA技术摘要.ppt LIGA技术 机械工程学院指导老师：222（教授）学生：111 时间：2012/4/6 目录 LIGA技术简介 LIGA技术的工艺流程 X射线光源 LIGA掩膜抗蚀光刻胶影响LIGA图形精度的因素准LIGA技术 LIGA技术简介 LIGA技术的特点与应用 LIGA是深结构曝光和电铸的代名词。LIGA是德文Lithographie(LI)、Galanoformung(G)

2017-03-18 约4.44千字 33页立即下载

【2017年整理】LIGA技术.ppt LIGA技术;目录;LIGA技术简介;用LIGA技术进行超微细加工有如下特点：可制造有较大深宽比的微结构,这种工艺方法可以制作微器件的高度1000μm，可以加工横向尺寸为0.5μm,和高宽比大于200的立方微架构，取材广泛，可以是金属、陶瓷、聚合物、玻璃等；可制作复杂图形结构，精度高，加工精度可达0.1μm ；可重复复制，符合工业上大批量生产要求，成本低。缺点是成本高，难以加工含有曲面、斜面和高密度微尖阵列的微器件，不能生成口小肚大的腔体等 . ;;LIGA技术的工艺流程;;;;;;;X射线光源;;LIGA掩膜;;掩膜的载体薄片掩膜的载体薄片要求有很高的X射线透过率和一定的强度。普通光学

2017-06-06 约1.38千字 33页立即下载

LIGA技术详解.ppt DEM技术 DEM 技术是由上海交通大学和北京大学开发出的具有自主知识产权的准LIGA 技术.DEM是该技术三个主要工艺的英文缩写(DEM：deep-etching，electro-forming，micoreplication）。该技术用感应耦合等离子体（ICP:inductively coupled plasma）深层刻蚀工艺来代替同步辐射X光深层光刻，然后进行后续的微电铸和微复制工艺。该技术不需昂贵的同步辐射X光源和特制的X光掩模版。工艺过程主要为首先在氧化过的低阻硅片上溅射一层金属膜,利用紫外光刻和刻蚀工艺获得掩模,然后利用ICP 刻蚀机对硅进行深层刻蚀, 再通过氧化和反应离子刻

2016-09-16 约字 33页立即下载

liga技术课件知识.pdf LIGA技术 •LIGA技术原理 •LIGA技术应用 •NSRLLIGA技术研究简介 WhatisLIGA? ThesketchofDeepLithographyProcess AccuracyofthestructuretransferduetoFresnel diffractionandphotoelectronsasfunctionofthe characteristicwavelenfthofSR Fresneldiffraction Photoelectrons Measurementofthelateraldimension 7.3μm 0.055/100μm Determinat

2025-06-07 约5.17万字 98页立即下载

先进制造技术 第3章 先进制造工艺.ppt 1）.先进性 先进制造工艺的先进性主要表现在优质、高效、低耗、洁净、灵活（柔性）五个方面。优质：加工制造出的零件或整机质量高，性能好；零部件尺寸精确，表面光洁，内部组织致密，无缺陷及杂质，使用性能好；整机的结构、色彩美观宜人，使用寿命和可靠性高。高效：生产效率及劳动生产率高，大大降低了操作者的劳动强度。低耗：节省原材料及能源。洁净：生产过程不污染环境，零排放或少排放。灵活：能快速对市场变化及产品设计的更改作出反应，适应多品种柔性生产。 2）.实用性 先进制造工艺的实用性主要表现在两个方面: 一是应用普遍性，它是当今或不久将来机械工厂量大面广的看家工艺；二是经济适用性，它

2017-09-01 约4.79万字 249页立即下载

先进制造技术论文.docx PAGE 1- 先进制造技术论文一、引言 (1)随着全球经济的快速发展，制造业已成为推动经济增长的重要引擎。在21世纪，先进制造技术作为制造业的核心驱动力，正逐渐改变着传统制造业的生产模式和竞争格局。据统计，我国制造业增加值占全球的比重已超过20%，成为全球最大的制造业国家。然而，与发达国家相比，我国制造业在技术水平、创新能力等方面仍存在较大差距。因此，深入研究和推进先进制造技术的发展，对于提升我国制造业的国际竞争力具有重要意义。 (2)近年来，先进制造技术得到了广泛关注，其涵盖了智能制造、绿色制造、数字制造等多个领域。其中，智能制造技术以其高度的自动化、智能化和集成化特点，已成为制造业转型

2025-03-17 约3.24千字 6页立即下载

2025-03-25 约4.04千字 56页立即下载

先进制造技术英语.ppt Chapter 1 Computers in Manufacturing Made by, Zhang Hangwei Mechatronics Enigineering Department Contents Computer-aided Production and Control System Para 1 The reason of mordern mfg. System’s development. To meet peoples desires Para 2 Computer is important in mfg.. Such as NC,

2017-06-13 约1.77万字 85页立即下载

先进制造技术(精品).doc 针对模具制造企业实施 ERP系统摘要：本文以模具制造企业为研究对象，首先对我国模具制造企业ERP系统的应用现状进行了分析。其次，通过定义我国模具制造企业范围和特点，对企业的信息化需求及ERP系统应用特点进行了分析。同时，在对ERP系统的基本思想及特点阐述基础上，重点对影响我国模具制造企业成功实施ERP系统的主要原因进行了分析。关键词：模具制造企业 ERP系统 0 前言* ERP是Enterprise Resource Planning（企业资源计划）的简称，它利用计算机技术，把企业的物流、人流、资金流、信息流统一起来进行管理，把客户需要和企业内部的生产经营活动以及供应商的资源整合在一

2017-06-05 约4.22千字 4页立即下载

先进制造技术概述.ppt ;先进制造技术—概述;1.1 回顾：20世纪是一个伟大的世纪发明和进展了汽车、机床、机器人、飞机、火箭、芯片、计算机、电视机、手机、原子弹等成千上万的机电产品，极大地转变了人类的生产方式和生活方式。;1.2 展望：制造业在21世纪将消灭奇迹汽车:会跑，会飞；飞机:更快、更平安；高速列车和磁悬浮列车；智能仪器装备和智能机器人:依据人们的要求高效率、高质量地制造产品；微型机器人:能进人血管清理垃圾、修补心脏；分子组装技术:组装出抱负性能的微器件； ;1.3 将来机械工程科学进展的总趋势交叉、综合化；柔性、集成化；智能、数字化；精密、微型化；高效、清洁化。 ;2.

2023-08-29 约1.37万字 65页立即下载

先进制造技术A卷答案.doc —第一学期期末考试优异制造技术试卷A 姓名_______ 学号______ 成绩_________ 一、填空题（40分,每空2分） 1、优异制造技术四个基础特征是柔性化、集成化、智能化、网络化。 2.虚拟制造技术是以信息技术、仿真技术、虚拟现实技术为支持,在产品设计或制造系统物理实现之前,就能使人体会或感受到未来产品性能或者制造系统状态,从而能够作出前瞻性决议与优化实施方案。 3、CIMS分成五个层次,即工厂级、车间级、单元级、工作站级和设备级。 4、工业机器人按系统功效分:1)专用机器人2)通用机器人3)示教再现机器人4)智能机器人。 5、优异制造技术特点是优异性、广泛性、实用性、系统集成

2025-03-28 约1.49千字 4页立即下载

《先进制造技术》课件.ppt 《先进制造技术》导论欢迎来到先进制造技术的世界！本次课程将带您深入了解先进制造的定义、核心特征、发展历程以及在各个领域的应用。通过学习，您将掌握推动制造业转型升级、提高生产效率、降低资源消耗的关键技术，为未来的职业发展奠定坚实的基础。让我们一起探索先进制造的奥秘，迎接智能制造的新时代！什么是先进制造？定义与内涵先进制造是指采用先进的技术、工艺、装备和管理模式，实现产品设计、制造、管理和服务全过程的优化与创新，从而提高生产效率、产品质量、降低成本、减少环境污染的制造模式。其内涵包括：集成化、智能化、绿色化、服务化。先进制造强调各个环节的协同与集成，利用智能技术实现生产过程的自动化和智能化，注重

2025-03-18 约5.68千字 60页立即下载