DRAM研究现状与发展方向.docx

DRAM研究现状与发展方向

目录

内容概要．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

DRAM发展历程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

2.1早期发展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

2.1.1静态随机存取存储器(SRAM)．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.1.2动态随机存取存储器(DRAM)的诞生．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.2技术演变．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

2.2.1单元阵列技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.2.2制造工艺的革新．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

2.2.3存储速度的提升．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

2.2.4集成度的提高．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

2.3当前状态分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.3.1主流技术比较．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

2.3.2市场格局分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

2.3.3面临的挑战与机遇．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

DRAM工作原理与架构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

3.1存储单元(Cell)概念．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

3.2数据存储方式．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

3.2.1电容式存储．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

3.2.2电荷注入存储．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20

3.3读写操作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

3.3.1读操作流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

3.3.2写操作流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

3.4存储单元之间的连接．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

3.4.1行地址线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

3.4.2列地址线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

3.4.3数据线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

3.4.4控制信号线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

DRAM性能参数．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

DRAM主要技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

5.1平面型DRAM(PLDRAM)．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

5.2三维堆栈型DRAM．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31

5.3非易失性DRAM(NVM-DRAM)．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

5.4其他新型DRAM技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．33

DRAM制造工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

6.1硅片制备工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

6.2光刻胶应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

6.3离子注入