TCPCIF《等离子刻蚀气体 八氟环丁烷》.pdf
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ICS71.080.20
CCSG17TCPCIF
中国石油和化学工业联合会团体标准
T/CPCIFXXXXXXXX
等离子刻蚀气体八氟环丁烷
Plasmaetchinggas—Octafluorocyclobutane
XXXX-XX-XX发布XX
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TCPCIF-《等离子刻蚀气体 八氟环丁烷》.pdf
ICS71.080.20
CCSG17
CPCIF
中国石油和化学工业联合会团体标准
T/CPCIFXXXX—XXXX
等离子刻蚀气体八氟环丁烷
Plasmaetchinggas—Octafluorocyclobutane
（征求意见稿）
在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。
XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
中国石油和化学工业联合会发布
T/CPCIFXXXX—XXXX
等离子刻蚀气体八氟环丁烷
1范围
本文件规定了等离子刻蚀气体八氟环丁烷的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、
贮存。
本文件适用于以工业用八氟环丁烷为原料经过精馏、吸附等
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TCPCIF-《等离子刻蚀气体 八氟环丁烷》编制说明.pdf
等离子刻蚀气体八氟环丁烷编制说明
（征求意见稿）
一、工作简况
1任务来源
根据中国石油和化学工业联合会印发《关于印发2023年第二批中国石油和化
学工业联合会团体标准项目计划的通知》，《等离子刻蚀气体八氟环丁烷》被
列入中国石油和化学工业联合会团体标准制定计划。
本标准由中国石油和化学工业联合会提出，中国石油和化学工业联合会标准
化工作委员会归口，由浙江大学衢州研究院、南大光电（乌兰察布）有限公司、
福建省建阳金石氟业有限公司、扬州纽兰德新型电热电气有限公司、内蒙古永和
氟化工有限公司、北京国化新材料技术研究院有限公司共同组织起草。
2标准制定背景、目的意义
2.1产品及行业概况
八氟环丁烷
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GB/T 43977-2024电子气体 八氟环丁烷.pdf
ICS71.100.20
CCSG86
中华人民共和国国家标准
/—
GBT439772024
电子气体八氟环丁烷
—
ElectronicasOctafluorocclobutane
gy
2024-04-25发布2024-11-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—
GBT439772024
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GBT1.120201
起草。
。。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)提出并归口。
SACTC203
:
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GB/T 43977-2024电子气体 八氟环丁烷.pdf
ICS71.100.20
CCSG86
中华人民共和国国家标准
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GBT439772024
电子气体八氟环丁烷
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ElectronicasOctafluorocclobutane
gy
2024-04-25发布2024-11-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
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GBT439772024
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GBT1.120201
起草。
。。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)提出并归口。
SACTC203
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GB/T 43977-2024电子气体 八氟环丁烷.pdf
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中华人民共和国国家标准
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GBT439772024
电子气体八氟环丁烷
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ElectronicasOctafluorocclobutane
gy
2024-04-25发布2024-11-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
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GBT439772024
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GBT1.120201
起草。
。。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)提出并归口。
SACTC203
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深度解析《GBT 43977-2024电子气体 八氟环丁烷》.pdf
深度解析《GB/T43977-2024
电子气体八氟环丁烷》
•一、专家视角：八氟环丁烷为何成为电子气体新宠？关键指标解析
•二、深度剖析GB/T43977-2024：这份标准将如何改变半导体行业？
目•三、纯度99.999%！八氟环丁烷制备工艺的五大技术突破揭秘
•四、电子气体安全新标杆：从标准看八氟环丁烷的运输存储革命
录•五、碳中和背景下，八氟环丁烷如何实现绿色生产与循环利用？
•六、标准解读：八氟环丁烷在刻蚀工艺中的不可替代性究竟何在？
•七、深度对比：国内外电子气体标准差异及国产化替代路径
•八、预警！八氟环丁烷中杂质含量超标可能引发的三大生产事故
•九、从实验室到量产：标准如何保障
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深度解析《GBT 43977-2024电子气体 八氟环丁烷》.pptx
2023;;;;;目录;PART;（一）八氟环丁烷优势在哪?;（二）关键指标有哪些?;（三）优势指标如何形成?;八氟环丁烷的高纯度和稳定性显著提升了半导体制造过程中的工艺质量，降低了产品缺陷率。;（五）与其他气体指标对比?;更高纯度要求;PART;（一）标准如何影响半导体生产?;（二）生产环节有何新规范?;（三）对半导体成本的影响?;;（五）行业竞争格局新变化?;GB/T43977-2024的发布将促使半导体行业采用更环保的八氟环丁烷生产工艺，减少温室气体排放，助力实现碳中和目标。;PART;（一）制备技术有何突破?;（二）突破技术原理是啥?;高效分离技术;（四）技术突破成本高吗?;（五）对生
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中国八氟环丁烷气体行业市场规模及投资前景预测分析报告.docx
研究报告
1-
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中国八氟环丁烷气体行业市场规模及投资前景预测分析报告
一、行业概述
八氟环丁烷气体定义及性质
(1)八氟环丁烷气体，化学式为C4F8，是一种无色、无味、无毒的氟利昂类化合物。它具有较低的沸点和较高的稳定性，常温常压下为气态。八氟环丁烷气体在常温下不与大多数金属和塑料发生反应，因此广泛应用于工业制冷、发泡剂、清洗剂等领域。其分子结构为环状，由四个碳原子和八个氟原子组成，具有较高的化学惰性，不易分解，因此在某些特殊场合也用作保护气体。
(2)八氟环丁烷气体的物理性质表现为低密度、低粘度和低热导率，这使得它在制冷系统中具有较高的热效率。同时，它具有较高的热稳定性，不易燃烧，安全
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等离子体刻蚀机(至圣)培训.ppt
等离子刻蚀培训射频功率反射功率特气流量真空压力DCAB主程序的主要步骤一、主程序的主要步骤1、Pumpdown这步主要是预抽，抽掉一些杂质气体。这时压力降到10，000mt，大约是十分之一个大气压。蝶阀处在位置模式，固定开合度，使压力快速降到设定值。2、Flowgas往反应室充入反应气体。压力进一步降到5，000mt。蝶阀仍处在位置模式。3、Servo此步主要起稳压的作用，让反应气体均匀充满整个反应室。压力进一步降到230mt，达到辉光放电所需的真空条件。蝶阀处在压力模式，通过控制蝶阀的开合度，精确控制真空压力大小。开启射频源，产生等离子体，反应开始。开启旋转体，让硅片每边都有均等机会接触到等
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深亚微米刻蚀与等离子体源.pdf
DOI: 10. 16262 /j .cnki . 1000 -8217. 1996.01.008
1
.
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等离子刻蚀机磁控溅射.DOC
厦 门 大 学
招 标 文 件
采购项目
电感耦合等离子刻蚀机、磁控溅射、激光划片机和光刻机
采购编号：XDZFCG2015-167
厦门大学资产与后勤事务管理处
2015年11月13日
第一章 投标邀请
厦门大学资产与后勤事务管理处受学校采购领导小组的委托，以招标形式就厦门大学化学化工学院电感耦合等离子刻蚀机、磁控溅射镀膜系统、激光划片机和光刻机（XDZFCG2015-167）项目进行采购，欢迎具备相应资格条件的供应商参加投标。
采购编号：XDZFCG2015-167
项目名称：电感耦合等离子刻蚀机、磁控溅射镀膜系统、激光划片机和光刻机
供货地点：厦门大学
投标截止和开标时间
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一种等离子体刻蚀装置.pdf
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114551194 A
(43)申请公布日 2022.05.27
(21)申请号 202210153343.6
(22)申请日 2022.02.18
(71)申请人 四川大学
地址 610065 四川
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一种等离子体刻蚀机及其刻蚀方法.pdf
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114464517 A
(43)申请公布日 2022.05.10
(21)申请号 202210054707.5
(22)申请日 2022.01.18
(71)申请人 胡德立
地址 246000 安徽
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T_ZZB 2338-2021 工业用八氟环丁烷.docx
ICS71.080.20
CCSG17
团体标准
T/ZZB2338—2021
工业用八氟环丁烷
Octafluorocyclobutaneforindustryuse
2021-08-30发布2021-09-30实施
浙江省品牌建设联合会发布
I
T/ZZB2338—2021
目次
前言 II
1范围 1
2规范性引用文件 1
3术语和定义 1
4基本要求 1
5技术要求 2
6试验方法 3
7检验规则 3
8标志、包装、运输、贮存 5
9质量承诺 5
附录A（资料性附录）典型色谱图 6
II
T/ZZB2338—2021
前言
本文件依据GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标
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T_ZZB 2338—2021_工业用八氟环丁烷.pdf
ICS71.080.20
CCSG17
团体标准
T/ZZB2338—2021
工业用八氟环丁烷
Octafluorocyclobutaneforindustryuse
2021-08-30发布2021-09-30实施
浙江省品牌建设联合会发布
T/ZZB2338—2021
目次
前言II
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义1
4基本要求1
5技术要求2
6试验方法3
7检验规则3
8标志、包装、运输、贮存5
9质量承诺5
附录A（资料性附录）典型色谱图6
I
T/ZZB2338—2021
前言
本文件依据GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的