二氧化钛改性氧化铝陶瓷的制备及其电性能调控.pdf
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摘要
静电卡盘是半导体制造的核心部件,广泛应用于大规模集成电路制造工艺,但是
我国目前静电卡盘的研发制造仍处于起步阶段,静电卡盘市场主要是由国外厂商占
据,国内存在被“卡脖子”的风险,国产替代需求迫切。同时目前静电卡盘是以库伦
型静电卡盘为主,其存在工作电
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摘要
静电卡盘是半导体制造的核心部件,广泛应用于大规模集成电路制造工艺,但是
我国目前静电卡盘的研发制造仍处于起步阶段,静电卡盘市场主要是由国外厂商占
据,国内存在被“卡脖子”的风险,国产替代需求迫切。同时目前静电卡盘是以库伦
型静电卡盘为主,其存在工作电