GB/T 41805-2022光学元件表面疵病定量检测方法　显微散射暗场成像法.pdf

ICS81.040.01 CCSN05 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT41805 2022 光学元件表面疵病定量检测方法 显微散射暗场成像法 Methodolo forthe uantitativeinsectionofthedefectonotics gy q p p — surface Microscoicscatterin dark-fieldimain p g g g 2022-10-12发布 2023-05-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT41805 2022 前 言 / — 《 : 》 本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规 GBT1.1 2020 1 定起草。 。 。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 本文件的发布机构不承担识别专利的责任 本文件由中国机械工业联合会提出。 ( / ) 。 本文件由全国光学和光子学标准化技术委员会 SACTC103归口 : 、 、 、 本文件起草单位 浙江大学 杭州晶耐科光电技术有限公司 中国科学院大连化学物理研究所 中国 、 、 工程物理研究院激光聚变研究中心 中国科学院上海光学精密机械研究所 中国兵器工业标准化研究 、 、 。 所 江苏皇冠新材料科技有限公司 福建福特科光电股份有限公司 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、 、 本文件主要起草人 杨甬英 曹频 李刚 杨李茗 刘旭 刘世杰 胡丽丽 徐晓飞 李炜娜 麦启波 黄木旺。 Ⅰ / — GBT41805 2022 引 言