微机电系统（MEMS）技术 基于MEMS 技术的车规级压力传感器技术要求.pdf

目次

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4分类2

5基本参数3

5.1被测介质的类型3

5.2工作温度范围3

5.3环境温度等级4

5.4信号输出形式4

5.5工作电压4

5.6测量范围4

6技术要求4

6.1外观4

6.2封装外形5

6.3输出阻抗5

6.4绝缘电阻5

6.5绝缘强度5

6.6过电压5

6.7反向保护电压5

6.8其它应测量值5

6.9环境特性5

7试验方法6

7.1环境条件6

7.1.1一般试验的大气条件6

7.1.2其它环境条件6

7.2性能6

7.2.1外观6

7.2.2封装外形6

7.2.3输出阻抗7

7.2.4绝缘电阻7

7.2.5绝缘强度7

7.2.6过电压7

7.2.7反向保护电压7

7.2.8综合精度7

7.2.9全寿命精度8

7.2.10上电时间8

7.2.11响应时间8

I

7.3环境特性试验8

7.3.1过载压力8

7.3.2爆破压力8

7.3.3其它环境特性试验8

附录A（规范性附录）传感器性能指标计算方法9

附录B（规范性附录）传感器环境特性试验方法11

II

微机电系统（MEMS）技术基于MEMS技术的车规级压力传感器技术

要求

1范围

本文件规定了车规级MEMS压力传感器（以下简称传感器）的术语和定义、分类、技术要求和试验

方法。

本文件适用于车规级压力传感器，主要适用于本文件第4节所列的汽车用压力传感器，其他压力传

感器可参考使用。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T7665传感器通用术语

GB/T19951道路车辆静电放电产生的电骚扰试验方法

GB/T18655车辆、船和内燃机无线电骚扰特性用于保护车载接收机的限值和测量方法

GB/T21437.3道路车辆由传导和耦合引起的电骚扰第3部分：除电源线外的导线通过容性和感性

耦合的电瞬态发射

GB/T26111微机电系统（MEMS）技术术语

GB/T33014.2道路车辆电气、电子部件对窄带辐射电磁能的抗干扰试验方法第2部分电波暗室

法

GB/T33014.4道路车辆电气、电子部件对窄带辐射电磁能的抗干扰试验方法第4部分大电流注

入（BCI）法

GB/T33014.9道路车辆电气、电子部件对窄带辐射电磁能的抗干扰试验方法第9部分便携式发射

机法

JJG624动态压力传感器检定规程

AEC-Q100基于失效机制的集成电路应力测试认证（Failuremechanismbasedstresstestqualification

forIntegratedCircuits）

AEC-Q103-002基于失效机制的MEMS压力传感器应力测试认证（Failuremechanismbasedstress

testqualificationforMicroElectro-MechanicalSystem(MEMS)Pressuresensordevices）

3术语和定义

GB/T7665、GB/T26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

车规级