一种手动光学调节装置.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN221039622U
(45)授权公告日2024.05.28
(21)申请号202323222617.1
(22)申请日2023.11.28
(73)专利权人上海大尘微影半导体科技有限公
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(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN221039622U
(45)授权公告日2024.05.28
(21)申请号202323222617.1
(22)申请日2023.11.28
(73)专利权人上海大尘微影半导体科技有限公