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集成电路知识讲座

芯片制造污染控制

集成电路是采用半导体制作工艺，在一块较小的单晶硅片上制作上许多晶体管及电阻器、电

容器等元器件，并按照多层布线或遂道布线的方法将元器件组合成完整的电子电路。它在电

路中用字母“IC”（也有用文字符号“N”等）表示。

（一）按功能结构分类

集成电路按其功能、结构的不同芯片制造污染，可以分为模拟集成电路和数字集成电

路两大类。

模拟集成电路用来产生、放大和处理各种模拟信号（指幅度随时间边疆变化的信号。例如

半导体收音机的音频信号、录放机的磁带信号等），而数字集成电路用来产生、放大和处理

各种数字信号（指在时间上和幅度上离散取值的信号。例如VCD、DVD重放的音频信号和

视频信号）。

（二）按制作工艺分类

集成电路按制作工艺可分为半导体集成电路和薄膜集成电路。

膜集成电路又分类厚膜集成电路和薄膜集成电路。

（三）按集成度高低分类

集成电路按集成度高低的不同可分为小规模集成电路、中规模集成电路、大规模集成电路

和超大规模集成电路。

（四）按导电类型不同分类

集成电路按导电类型可分为双极型集成电路和单极型集成电路。

双极型集成电路的制作工艺复杂，功耗较大，代表集成电路有TTL、ECL、HTL、LST-TL、

STTL等类型。单极型集成电路的制作工艺简单，功耗也较低，易于制成大规模集成电路，

代表集成电路有CMOS、NMOS、PMOS等类型。

（五）按用途分类

集成电路按用途可分为电视机用集成电路。音响用集成电路、影碟机用集成电路、录像机

用集成电路、电脑（微机）用集成电路、电子琴用集成电路、通信用集成电路、照相机用集

成电路、遥控集成电路、语言集成电路、报警器用集成电路及各种专用集成电路。

电视机用集成电路包括行、场扫描集成电路、中放集成电路、伴音集成电路、彩色解码

集成电路、AV/TV转换集成电路、开关电源集成电路、遥控集成电路、丽音解码集成电路、

画中画处理集成电路、微处理器（CPU）集成电路、存储器集成电路等。

音响用集成电路包括AM/FM高中频电路、立体声解码电路、音频前置放大电路、音频

运算放大集成电路、音频功率放大集成电路、环绕声处理集成电路、电平驱动集成电路、电

子音量控制集成电路、延时混响集成电路、电子开关集成电路等。

影碟机用集成电路有系统控制集成电路、视频编码集成电路、MPEG解码集成电路、音

频信号处理集成电路、音响效果集成电路、RF信号处理集成电路、数字信号处理集成电路、

伺服集成电路、电动机驱动集成电路等。

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录像机用集成电路有系统控制集成电路、伺服集成电路、驱动集成电路、音频处理集成

电路、视频处理集成电路。

清洗液

A.新清洗液的开发使用

1）.APM清洗

a.为抑制SC-1时表面Ra变大，应降低NH4OH组成比，例：

NH4OH：H2O2：H2O=0.05：1：1

当Ra=0.2nm的硅片清洗后其值不变，在APM洗后的D1W漂洗应在低温下进行。

b.可使用兆声波清洗去除超微粒子，同时可降低清洗液温度，减少金属附着。

c.在SC-1液中添加界面活性剂、可使清洗液的表面张力从6.3dyn/cm下降到19dyn/cm。

选用低表面张力的清洗液，可使颗粒去除率稳定，维持较高的去除效率。

使用SC-1液洗，其Ra变大，约是清洗前的2倍。用低表面张力的清洗液，其Ra变化不大

（基本不变）。

d.在SC-1液中加入HF，控制其PH值，可控制清洗液中金属络合离子的状态，抑制金属

的再附着，也可抑制Ra的增大和COP的发生。

e.在SC-1加入螯合剂，可使洗液中的金属不断形成螯合物，有利抑制金属的表面的附着。

2）.去除有机物：O3+H2O

3）.SC-1液的改进：SC-1+界面活性剂

SC-1+HF

SC-1+螯合剂

4）.DHF的改进：

DHF+氧化剂（例HF+H2O2）

DHF+阴离子界面活性剂

DHF+络合剂

DHF+螯合剂

5）酸系统溶液：

HNO3+H2O2