应用Avantage 软件进行XPS谱图处理步骤.pdf

应用Avantage 软件进行XPS 谱图处理步骤 一、 打开处理软件 双击桌面上Avantage 图标 二、 载入谱图数据 Open files——选择需要处理的vgp.格式的数据文件，打开相应的XPS 谱图。 三、 XPS 谱图处理 1. 荷电位移 （Charge Shift ） a. 先用鼠标指针选中 C1s 谱图，读出当前 C1s 谱图上 C—C 键的 C1s 结合能位置，以 C1s=284.8eV 为参考值，记录下当前的荷电位移。 ② ① 读取当前C1s 结合能位置 ③ b. 选中所有XPS 谱图（包括Survey 谱图及元素的窄扫谱图），即点击谱图框左上角的小 方块。 c. 对 XPS 谱图进行荷电位移：选择工具栏中的“charge shift ” 图标，在弹出 的窗口中选中“shift by amount ”，然后在“shift by ： ”中输入荷电位移值，再选择 “+eV ”或“-eV ”，最后点击“Close ”关闭窗口。 2. 扣除X 射线伴峰 （Satellite Subtraction ）—此步骤仅适用于双阳极XPS a. 用鼠标指针选中某个元素的窄扫谱图，然后点击工具栏中的“Satellite Subtraction ” 图标。 b. 在弹出的窗口中选择本底类型为“Smart ”，勾选“Subtract Background First ”，然后 点“Subtract Satellites ”。（注意XPS 测试时双阳极的类型是Mg?还是Al? ） √ c. 重复以上扣伴峰的步骤，将所有元素的窄扫谱图都进行X 射线伴峰的扣除，最后点 击“Close ”关闭窗口。 3. 定量（Quantification ） a. 先选中双竖线指针，在需要定量的各个元素的窄扫谱图中分别选取定量范围。注意： 定量范围的起点与终点应选在本底较平滑的位置。 b. 用鼠标+Ctrl 键选中所有需要定量的元素窄扫谱图，然后进行加峰，即点击工具栏中 “Add Peak ” 图标。在弹出的窗口中选取“Peak Background ”类型为 “Smart ”，然后点击“Add To All ”对所有元素进行定量加峰。 定量结果如下图所示： 4. 定量数据及谱图数据的导出 （如Excel 数据格式） a. 选中所有XPS 谱图（包括Survey 谱图及元素的窄扫谱图），同3.1.b 操作。然后点击 工具栏中的“X ”图标，选择“Report Options”。 b. 在弹出的窗口中的“File Path for Excel Document”一栏中输入数据文件保存的地址 与名称，也可以通过“Browse”直接搜索地址，然后点“OK ”生成一个Excel 数据 文件的地址。 c. 再次点击工具栏中的“X ”图标，选择“Report to …”就可以自动生成Excel 数据文 件。 四、 多化学态元素的分峰处理 1. 选峰 用鼠标指针选中需要进行分峰处理的某个元素的窄扫谱图，然后用双竖线指针在该谱图 中选取分峰范围。注：起点与终点应选在本底较平滑的位置。 2. 对谱图进行分峰 选择工具栏中的“Peak Fit” 图标，在弹出的窗口中先选取“Add Fitted Peak ”， 其中“Peak Background”类型选择“Smart ”。然后在需要进行分峰处理的谱图界面上通 过移动三竖线指针来选取所要加峰的位置（注：具体的不同化学态结合能数据可参考文 献或XPS 手册），位置选好后点击“Peak Fitting”窗口中的“Add