GB/T 35310-2017200 mm硅外延片.pdf

ICS29.045 H 82 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT35310 2017 200mm硅 外 延 片 200mmsiliconeitaxialwafer p 2017-12-29发布 2018-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT35310 2017 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )与全国半导体设备和材料标准 SACTC203 化技术委员会材料分技术委员会( / / )共同提出并归口。 SACTC203SC2 : 、 。 本标准起草单位 南京国盛电子有限公司 有色金属技术经济研究院 : 、 、 、 、 。 本标准主要起草人 马林宝 骆红 杨帆 金龙 杨素心 Ⅰ / — GBT35310 2017 200mm硅 外 延 片 1 范围 、 、 、 、 本标准规定了直径 200mm硅外延片的术语和定义 产品分类 要求 试验方法 检验规则以及标 、 、 、 、 。 志 包装 运输 贮存 质量证明书 。 本标准适用于在 型和 型硅抛光衬底片上外延生长的硅外延片 产品主要用于制作集成电路 N P 或半导体器件。 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , ( ) 。 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 /